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产品的特点：
1. 高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的（可以生产150 nm）
2. 粒度可控，根据不同需要，可生产不同粒度的产品（10-150 nm）
3. 高纯度（Cu2+含量小于50 ppb），有效减小对电子类产品的沾污
4. 高平坦度加工，本品抛光是利用SiO2的胶体粒子，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工
抛光液基本性质
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碱性型号（pH:9.8±0.5） |
SOQ-2A |
SOQ-4A |
SOQ-6A |
SOQ-8A |
SOQ-10A |
SOQ-12D |
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酸性型号（pH:2.8±0.5） |
ASOQ-2A |
ASOQ-4A |
ASOQ-6A |
ASOQ-8A |
ASOQ-10A |
ASOQ-12D |
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粒径(nm) |
10~30 |
30~50 |
50~70 |
70~90 |
90~110 |
110~130 |
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外观 |
乳白色或半透明液体 |
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比重 |
1.15±0.05 |
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组成 |
成份 |
含量（w%） |
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SiO2 |
15～30 |
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Na2O |
≤0.3 |
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重金属杂质 |
≤50 ppb |
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抛光液组成
| 成份 | 含量（w%） |
| SiO2 | 15～30 |
| Na2O | ≤0.3 |
| 重金属杂质 | ≤50 ppb |
应用范围：
1、硅晶圆片抛光;锗片抛光;砷化镓抛光;磷化铟抛光;光学晶体抛光;蓝宝石衬底抛光;LED衬底抛光;
2、硒化锌抛光;光纤连接器抛光;光纤跳线抛光;玻璃抛光;石英抛光,CMP抛光液；
